組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

ユニバーサルロボット専用（第7軸 ）UR走行軸 MovoTrak

PRユニバーサルロボット専用 第7軸 (走行軸）最大移動距離１０m ！ …

MovoTrak CTU走行軸 Thomson社は協働ロボットメーカーであるユニバーサルロボットとの初のコラボレーションMovoTrak 7 軸（走行軸）を発売しました。 画期的なプログラミングと制御の利点をもたらす第７軸（走行軸）は、２つの衝突検出機能で安全を担保します。 ロボット機能に迅速かつ簡単に実装できるプラグアンドプレイ システムである MovoTrak は最大 10...

メーカー・取り扱い企業： ミワ株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（50mm）

エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ

ダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

赤外線顕微鏡システム『IR1300mea』

手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測…

高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 　計測が可能 ■X軸...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社