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PRレーザー加工の加工効率UP!切断能力向上、飛散スパッタの低減など効果は…
当コラムでは、夏目光学式ビームシェイパーについてをご紹介しております。 ビームシェイパー(ビーム整形光学系)は、既存のレーザー加工機の 光学系に搭載することで希望のビームプロファイルへの変換を可能にします。 ビームの変換と一言で言ってもいくつかの解釈があり、丸い円形のビームを、 四角形(矩形)や、リング形状、ライン形状への変換したり、また1本の ビームを2本3本に分岐させたり、と...
メーカー・取り扱い企業: 夏目光学株式会社
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研究開発から量産までサポート!
チパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。 【各種 選択機能】 ●カソード変更(大型カソード化、4インチカソード多元化) ●高温加熱機構(800℃) ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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大型基板の自動搬送に対応し、研究開発~量産までの応用が可能な装置です。…
大型基板の自動搬送に対応したロードロック式スパッタリング装置です。 【主な特長】 ・Φ300mmを例とする大口径基板のベア搬送が可能 (角基板の対応も可能です。) ・独自設計のカソード機構により、汎用ターゲットサイズでの 広範囲...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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