【ヒカリの豆知識】夏目光学式ビームシェイパーのご提案

PRレーザー加工の加工効率UP！切断能力向上、飛散スパッタの低減など効果は…

当コラムでは、夏目光学式ビームシェイパーについてをご紹介しております。 ビームシェイパー（ビーム整形光学系）は、既存のレーザー加工機の 光学系に搭載することで希望のビームプロファイルへの変換を可能にします。 ビームの変換と一言で言ってもいくつかの解釈があり、丸い円形のビームを、 四角形（矩形）や、リング形状、ライン形状への変換したり、また1本の ビームを2本3本に分岐させたり、と...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社