【ヒカリの豆知識】夏目光学式ビームシェイパーのご提案

PRレーザー加工の加工効率UP！切断能力向上、飛散スパッタの低減など効果は…

当コラムでは、夏目光学式ビームシェイパーについてをご紹介しております。 ビームシェイパー（ビーム整形光学系）は、既存のレーザー加工機の 光学系に搭載することで希望のビームプロファイルへの変換を可能にします。 ビームの変換と一言で言ってもいくつかの解釈があり、丸い円形のビームを、 四角形（矩形）や、リング形状、ライン形状への変換したり、また1本の ビームを2本3本に分岐させたり、と...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

東北大学技術：高密度プラズマスパッタリング装置：T16-141

基板ダメージが少ない／イオン量とエネルギーを独立制御／磁性体ターゲット…

デバイスの微細化の進展または薄膜結晶の高品質化の要求が高まるにつれて、スパッタリングにおいて基板へのイオンダメージが大きな問題となっている。従来広く利用されているマグネトロンスパッタ法では、ターゲット材と基板の間に直接プラズマを形成するため、「1　イオンダメージの回避が困難...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

東北大学技術：高TMR素子用Co系磁性合金：T19-018

B無添加・低温熱処理・スパッタ製膜でTMR比200%以上

表すTMR比は素子性能指標の一つであり、それら応用製品の仕様を左右する重要な特性である。アモルファスFeCoB磁性合金とMgOトンネルバリアを用いたTMR素子は現在主流の材料系で、大量生産に適したスパッタリング法で作製できる。素子を熱処理した際にBが拡散することでFeCo／MgO結晶素子となり、200～600%のTMR比を示す優れた材料である。しかし、熱処理によって拡散したBは、FeCoに隣接する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

東北大学技術：固体イオニクス膜の室温堆積：T22-111

酸化物固体イオン電池のめっきによる薄膜堆積技術

に使われる固体イオニクス膜を電解めっきで室温で堆積する技術を開発した。本技術により、これまで困難であった、小型の固体イオン電池を集積化することが可能になる。酸化物固体イオン電池の作製は、粉末焼結やスパッタ法を用いるものがあるが、高温プロセスを必要とするため、熱応力による剥離などが課題であった。本発明は、高温プロセスを必要とせず、固体イオニクス膜(正極膜や固体電解質）を電解めっきで堆積する技術を提供...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ