チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

ます。 当技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法で ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。 フォトリソグラフィーのほか、エッチングやスパッタリングの プロセスにおいて効果が期待できます。 【特長】 ■チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能 ■専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能 ■チャック上のゴミ/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

チャック上のゴミ/パーティクルを除去！チャッククリーニングウェハ

ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムを削減！導入効果や他社比較を…

効果が期待できるプロセス ◆フォトリソグラフィー ◆エッチング ◆スパッタリング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル