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膜厚モニター用水晶振動子
蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は5MHzと6MHz、電極膜材料は金(Au)と銀(Ag)を揃えております。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社アベニューマテリアル
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