スパッタリングの基礎知識

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産…

フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。 実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器 （真空チャンバー）内に充填されたアルゴン（Ar）などの不活性ガスです。 スパッタリングでは真...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

【技術資料】スパッタリングによる薄膜で素材に新機能

製造系エンジニアのための技術情報！スパッタリング技術について詳しく解説

当資料は、デクセリアルズの緻密な薄膜形成技術である 「スパッタリング技術」について掲載しています。 技術の特長やその応用などを、イラストやグラフを用いながら詳しくご紹介。 スパッタリング技術を活かした当社の製品「反射防止フィルム」についても 掲載...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

ロールtoロール方式のスパッタ技術を使った反射防止フィルム

【技術資料を無料進呈】当社の反射防止フィルムのしくみ、生産方法、メリッ…

て「ウェット工法」と「ドライ工法」の 2種類の工法があります。ウェット工法はその名のとおり、液体の材料をベースフィルムに塗工し、 乾燥させて膜を成形します。 ドライ工法は「蒸着」と「スパッタリング」に分かれ、デクセリアルズではスパッタリングによる 製造を行っています。 スパッタリングは成膜のための代表的な技術で、真空チャンバー内で膜の材料となるターゲット材に 高電圧下でイオン...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社