超精密測定器具「セラミックス製　超精密XYステージ」

姿勢精度2秒以下の高精度を実現！検査装置の位置決めに好適な超精密XYス…

「セラミックス製　超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ■真直度精度：1μm以下を実現。 ■姿勢精度：2秒以下の高精度を実現。 ■最長3500stまで可能 ■再現性0.2μm以内可能 ■付属品：検査成績表 ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 新東Vセラックス株式会社