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窒化アルミ製セラミックヒータ『Hi-Watty Light』
PR最高500℃まで高速昇温 □5mm~□50mmのサイズをラインアップ。…
ワッティーが提供する『Hi-Watty Light』は、純アルミに近い熱伝導率を持つ 窒化アルミ製の小型ヒータです。 素材が持つ高い熱伝導性と独自のヒータパターン設計による ヒータ内に空気が残らない構造で、小型ながら高い発熱量と均一な温度特性を実現。 耐衝撃性に優れ、容器・金属・気体などの加熱用途に使用できます。 □5mm~□50mmの7サイズ、15種類をラインアップし、低コスト・短...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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熱のコントロールの精度が半導体生産効率を支える ― ヒーター内臓型静電…
半導体の微細化デザインが進むにつれ、その製造工程で熱のコントロールの重要性がますます高まっています。特に前工程では、熱のコントロールがスループットにも影響する重要なファクターになります。 半導体ウエハーの主流である300mmサイズに対して均一に熱を供給するため、ヒーターのデザインが重要になります。ヒーターの発熱量が増大傾向にあり、必要な発熱を得るための抵抗値を増大させるために、銅箔の断面積、経路設...
メーカー・取り扱い企業: ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社
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