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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa(*1x10-4Paまで最速30分!) ● スパッタ源 x 3:連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション:上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統(MFC制御)、RF/DC PSUの増設(最大2電源まで)...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型
φ2"~φ6"基板対応卓上型マニュアル式!ディスペンサー付
MSC-300型は、φ2"~φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"~φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400T
ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。
ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400Tは、アクセサリーなどの装飾膜成膜、工具の硬化膜成膜に最適です。 導入ガス(N2、O2、C2H2)の量、及び種類を変えることにより、成膜色を変える事が可能。 【特徴】 ○工具の硬化膜成膜用に最適 ○タッチパネル操作による成膜レシピ制御が可能 ○少量生産機・実験機として最適 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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