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本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。 ...【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可) ○処理室 アルミニウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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