イオンビームエッチング・ミリング（IBE）装置

高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置

特長 最新設計のグリッドによる8インチ基板への均一なエッチング イオンソース冷却機構の最適化による高レートエッチングの連続運転改善 基板保持部の傾斜機構をダイレクト駆動方式より高速化 最新OSの採用と制御システムの改善による装置安定稼働 他社製プロセスモジュールをドッキングできるフレキシブルなソフトウエア構成 ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社