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アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロメタルパーツ
ョン例 1. 高アスペクト比メタル構造例:タルボ･ロー干渉計用のX線回折格子。高アスペクト比(例: 金の厚さ250 µm，線幅2.4 µm)の吸収格子，短周期の位相格子等を実現。 2. 金のチェッカーボード構造 周期35µm (メタル/スペース = 17.5 µm : 17.5 µm)， 金の厚さは160 µm アスペクト比: 約9 3. 微細貫通孔(X線アパーチャ。基板無し) ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON
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