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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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1.開閉タイミング調整など 1-2-3-2.エア圧力に関して 1-2-3-3.維持管理 ■2.ノズルオプション 2-1.上流工程オプション 2-1-1.逆止弁(チャッキ弁) 2-1-2.サクション機構 2-1-3.バルブ(開閉型もしくは多段階開閉型) 2-2.下流工程オプション 2-2-1.メッシュ 2-2-2.吸入機構 ...
メーカー・取り扱い企業: 秋元産機株式会社
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