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マイクロ波イオン・ラジカル源 IMIS-211Q
石英放電管タイプでチャンバー内突き出し型の 有磁場型マイクロ波励起イオン・ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英製で、金属汚染の少ないイオン・ラジカルが得られる ○特殊なアンテナ構造、磁気回路のため漏洩磁場が少ない ○完全金属シール構造により MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○取付が容易な空冷式 ○加速用高圧電源(オプション)の使用により イオン加速が可能...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
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