プラズマ式/サーマル式両用ALD装置

プラズマ、サーマル両方のALD成膜が可能です。

ハイテックシステムズは、ALD（Atomic Layer Deposition）装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の販売代理店です。 Veeco/CNT社は米国Veeco社のALD（Atomic Layer Deposition）事業部門で　先端のALD（原子層堆積）技術開発を行い、世界の研究機関、大学、企業にて最も使われている開発用、量産試作用、ALD装置のメーカーです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ