特許技術でコスト減！高濾過精度で品質維持！クーラント精密濾過装置

PR濾過精度1μmを実現。自重に逆らいながらクーラント液を送り、フィルター…

当社は、クーラントの『精密濾過装置』の提案・製造を手掛けています。 1μmの濾過精度で、大流量に対応したフィルター濾材をご用意しており、 装置は外側から内側へ濾過を行う濾過フローで、 自重に逆らいながら下から上にクーラント液を送り込み、 フィルター全面による高効率濾過を実現しています。 また、逆洗浄には特許を取得しており、 自重に従った送液によって効果的な逆洗浄を行い ランニングコストの大幅削...

メーカー・取り扱い企業： 濾過精工株式会社

小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染…

★ 12インチリング付きウェハ処理が可能！ ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去！ ★ 量産前の評価、研究に最適！ ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 [ 主要性能] ・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時） 　　※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート：1.07 Pa/min以下 　　※ビルドア...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社