真空破壊用ブレイクフィルター「真空装置のパーティクルを低減」

真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください！

ブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 【特徴】 ■スループットの向上 　ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルターを取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

真空破壊用『ブレイクフィルター』　※詳細資料を無料進呈中！

【１本から対応可能】真空装置のパーティクル低減・スループットの向上を可…

『ブレイクフィルター』は、セラミック多孔体のもつ微細な細孔を利用した真空破壊用ディフューザーです。 真空チャンバーのベントポートに取り付けることにより、ダスト低減やスループット向上に優れた効果を発揮します！ 【特長】 ■ガスの流速が低減されて均一に拡散し、ダストの舞い上...

メーカー・取り扱い企業： クアーズテック株式会社