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各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕…
『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を...
メーカー・取り扱い企業: ディスク・テック株式会社 本社
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