φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置

各工程インテグレードで効率生産！！！

<特徴> MLCSP、Ｃ-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。 エンバイロメント（Foup）を装備し、GEM300、OHTも対応 スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動で パターニングが可能（オプション） レチクル自動交換（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所