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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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PR原則成功報酬&見積もり無料で安心。機械・装置の更新コストを削減!復刻や…
設備はまだ使用できるのに、故障してしまった基板等が手に入らず、 泣く泣く設備更新をした経験はございませんか? 当社では、故障した基板を解析・診断して修理を行い、 故障したICを交換、基板上の腐食、焼損、劣化、断線などを修復する、 基板修理サービス『ヨミガエル』を提供しています。 メーカーサポート終了品、海外メーカー製品、回路図や仕様書がない製品にも対応。 設備の故障や部品の生産...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のSiウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温(1000℃)均一加熱 ...横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム&大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動…
株式会社宇野澤組鐵工所 -
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株式会社中央理化 本社