ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。 ■オプションでオゾン水洗浄が可能。 ■オプションでナノバブル洗浄が可能。 当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます（オンライン対応可） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン