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高密度のプラズマを生成し、高いイオン化率により高品質の成膜をする方法を…
率を著しく高めることにより、 表面平滑性、硬度、密着性の向上、緻密な膜ができる等の様々な利点があります。 【特長】 ■高密度のプラズマを生成 ■高いイオン化率により高品質の成膜 ■バイポーラパルスによるアーク異常放電の抑制 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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