プラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製

幅広い用途を網羅した超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）バイポーラ技…

独自の技術である、超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）プラズマ源により、あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。 また複数のプラズマ源を独立して、同時に動作することにより、柔軟なイオンおよび電子ビームソリューションの設計と製造が出来、幅広いアプリケーションに対応致します。 ■特徴 ・手のひらに収まる超小型低消費電力 ・用途に合わせてイオン源、電子源、プラズマ源、原子源を...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社