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自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入!シーケンサ制御方式を採用…
当製品は、GaAsウェハを専用バスケットで自動搬送及びエッチングする 装置です。 ローダ部よりバスケットに入れたGaAsウェハを投入すると、搬送機により ローダ部からエッチング槽、リンス槽、アンローダ部へと自動搬送。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダン科学
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