静電接合装置『TSC1230』

ボイドの少ない強力な化学結合によりセンサー開発・マイクロマシンの開発に…

『TSC1230』は、Si基板とパイレックスガラスを陽極接合方式で張り合わせる 静電接合装置です。 様々な形状のセンサーやアクチュエータを簡単に試作することが可能です。 研究、試作用途に適したコンパクトサイズにより低価格でご...

メーカー・取り扱い企業： テクノサイエンス株式会社 相模原事業所