【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

とでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純正部品購入より再生で大幅にコスト削減！）や装置メンテナンスに伴うダウンタイムを大幅に抑えて装置稼働時間を上げることができます。 誘電体窓やビューポート、EPDへの成膜以外にフォーカスリングやチャンバー側面等の構造物への成膜も順次対応していきます。 耐プラズマ性の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー