ピエゾアシストステージ

手動で制御する精密位置決めステージ

理 ■装置の構成 ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。 マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり、10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル

アクティブ防振台『IsoStage300』

Spike-Guardで測定効率とデータの質を向上！他社製AFMも利用…

AFMやSTMは、高感度であるがゆえにナノメートル以下の振動も ノイズとして拾ってしまいます。このような振動が問題となる測定には、 アクティブ防振台が必要となります。 『IsoStage300』は、装置へ伝わる振動をピエゾセンサで検知し、 6自由度(3軸)のアクチュエータで天板を駆動して動きをキャンセルして 制震するアクティブ防振台です。 低周波の振動を1Hzから低減することが...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社