【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

PR各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い測定圧力範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ヌード型複合真空計『SG701シリーズ』

容易に取付け可能！筺体・電源等を省略した新しいかたちのヌード型複合真空…

『SG701シリーズ』は、各真空計コンポーネントを分離して装置への 組み込みを簡素化した装置組込み型の真空計です。 B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。 また、グリッド・コレクタを常時、通電加熱した計測（タフモード）を オプションとしてご用意して...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラプロ

複合真空計『TG301CD』

ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用！専用アプリでデータの管理と…

『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。 ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、 グリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラプロ