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真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定!】
真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能!今まで困難だ…
備環境への改善・監視に結びつき、製品の高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化(環境負荷の低減)が達成できます。 【測定できなかったところでの 測定が可能に!】 ■真空環境内へ設置でき、ピンポイントで圧力の状態・変化を測定可能。 ■センサを複数設置でき、圧力の分布が測定可能。 【見えなかったところが可視化できます!】 ■ガスの状態(流れ・量)が見える。 ■装置内の状態が連続的に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社岡野製作所
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