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フィルムや板状の膜厚を非破壊的にライン測定
各酸化膜、シリコン、フォトレジスト、各種フィルム、油膜、コーティング材、接着剤、金属酸化膜、誘電体膜などを光の干渉を用いて、非接触にそれら厚みを高精度に測定します。主にハロゲン光を使いますので、人体への影響も無く、場所も選びま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社スペクトラ・コープ
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