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価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…
に対応する為、RFパワーを下部電極に印加(RIE方式)又は、上部電極に印加(DP方式)を実現しております。 6~8インチのSi、Poly-Siなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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