フォトレジストの研究開発用露光ツール　

フォトプロセス解析用露光装置シリーズ

フォトレジストの研究開発用露光ツール！ フォトプロセス解析用露光装置シリーズ ■□■ラインナップ■□■ ■UVES-2000（g/h/i/248nmおよびブロード光対応解析露光装置） ■UVES-2500 （g/h/i/248nmおよびブロード光対応レジスト感度評価露光装置） ■ArFES-3500LP（193nm対応解析露光装置） ■VUVES-4500mini（248・193n...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

レジスト現像アナライザ RDAリシーズ

フォトレジスト現像速度解析評価装置

レジスト現像アナライザRDAシリーズは、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィシミュレータに必要なレジストモデリングパラメータを正確に決定することができます。...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社