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ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…
、高周波(13.56MHz)と比較して効率よくプラズマ照射 (ワークへのへの熱ストレスが少ない) ・任意のガス3種(アルゴン、酸素、水素+アルゴン等)を選択可能、 オプションのマスフローコントローラでCPUによるガス混合、流量コントロールが可能 ・対象に応じて5種類のプラズマモードを使い分けることが出来ます ●詳しくはお問い合わせください...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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