アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

1200℃真空マッフル炉『OSK 93TI101』

管状炉の試料サイズ制限及びマッフル炉の仕切り入れの手間をなくした新たな…

除、ガス入力およびガス出力は個別の4ポートで構成されています。 ・複数の大気環境を作り出せます(空気中での燃焼、空気のパージと真空の引き、不活性ガスの流し込みと焼結) ・オプションのマスフローコントローラにより、不活性ガスのプリセット(98)ができ、より正確で応答性が高い安定したガス管理が可能。 ・オプションの背圧弁により、チャンバー内の正圧を維持できます。 ・マスフローコントローラ、背...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

1500℃真空マッフル炉『OSK 93TI102』

管状炉の試料サイズ制限及びマッフル炉の仕切り入れの手間をなくした新たな…

除、ガス入力およびガス出力は個別の4ポートで構成されています。 ・複数の大気環境を作り出せます(空気中での燃焼、空気のパージと真空の引き、不活性ガスの流し込みと焼結) ・オプションのマスフローコントローラにより、不活性ガスのプリセット(98)ができ、より正確で応答性が高い安定したガス管理が可能。 ・オプションの背圧弁により、チャンバー内の正圧を維持できます。 ・マスフローコントローラ、背...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

1200℃石英チャンバー真空マッフル炉『OSK 93TI109』

常用温度1000℃以下の連続運転に！石英製棚板により庫内空間を有効利用

たな電気炉です。 石英チャンバ－設計(ドアの内側を含め)により、粉塵による庫内汚染や、 実験中に発生する腐食性ガスによるヒーターの損傷を防ぎ、 実験後庫内の清掃も容易。 マスフローコントローラ、背圧弁、デジタル真空メーター及び 真空ポンプのフル構成で完全且つ精密な実験を可能とします。 【特長】 ■常用温度1000℃以下の連続運転に適している ■管状炉と比較して、幅広い...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社