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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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水添など気液混合の動力低下を防ぐ!気液プロセス用撹拌機/解説あり
PR気液混合の効率を大幅UP!水添などの課題解決のカギは撹拌設計にあるかも…
産業用撹拌機のマーケットリーダーであるEKATOが、気液混合時に起こる「動力低下」を最小限に抑え混合効率の最大化を実現する 気液混合のための攪拌システムを開発。 内部循環システムにより、水素など高価なガス資源の使用量を削減し、コストダウンを実現します。 攪拌・混合プロセスの研究を続けて90年となるEKATOは、「攪拌のスペシャリスト」として プロセスの課題を解決します。 内部循環システムとは...
メーカー・取り扱い企業: エカート株式会社 日本支社
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開発から量産へ!効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性ア…
『7220シリーズ』は、難しいダイシングで求められる生産性と品質に合致する 高度な自動化とプロセス監視機構を広く提供する省スペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性に...
メーカー・取り扱い企業: 日本技術産業株式会社
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『7100シリーズ proVectus ダイシングシステム』
0°から15°までのどんな角度でも素早く変換!傾斜スピンドル機能を搭載…
『7100シリーズ proVectus ダイシングシステム』は、傾斜スピンドル機能が 設計付与され、光学電子素材を垂直に切ると同時に、その後数分以内に 0°から15°の角度範囲内で傾斜ダイシングを行うよう調整が可能な装置です。 ブレード、ダイシングパラメータ及び貴社部品のために特に開発された 全体プロセスソリューションによってスピンドル角度の優れた調整により、 非常に正確な傾斜カット...
メーカー・取り扱い企業: 日本技術産業株式会社
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