【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子…

応用できます。 超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わせてお使いください。 【特長】 ■低加速・大電流密度 ■静電型採用の為、漏洩磁場が少ない ■超高真空対応(ベーキング温度<150℃) ■省スペースでの取付けが可能(取付フランジCF114) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ