【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ＭａｇｉＤｒｉｖｅ回転導入機

非常にコンパクトで、回転を真空システムへ転送することができる回転導入機…

●磁気カップリングにより真空漏れはありません ●高磁力による伝達トルクでバックラッシュがありません。 ●２５０℃までのベーキングに耐えうる超高真空仕様です。 ●回転に硬さを持たせることが出来、必要な位置でストッパーなしで静止させられます。 ●取付フランジCF10（外径：25.4mm）!)CF100（外径：15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート