【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

高真空度クラス対応形スイッチ『GNシリーズ』

低アウトガス対応の材質・接着剤・コードを採用。高真空環境専用位置決めス…

ーカーに続々と採用されています。 【主な仕様】 ■接点構造：接点形 ■動作形態：A：NO／B：NC ■動作点の繰返し精度：ON⇔OFFとも 0.003mm（レンジ） ■対応真空度／ベーキング許容温度：10-5Pa/120℃ ■動作までの動き：約0.3（A：NO）/なし（B：NC） ■応差：0 ■接点精度寿命：300万回 ■ストローク：1.5mm ■接触力：0.5N ■接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メトロール