【技術情報】フォトマスクとは？

レーザーを光源とした最新の装置により描画されているフォトマスクです。

構造 →クロムマスク：低反射二層クロム膜 　光学濃度3.0OD, 反射率は約10％/436nm →ハードコート付きクロムマスク 　透明樹脂がクロムの膜面上に2～3umほどの厚みで塗布 →ペリクル付きクロムマスク：クロムマスクの表面にペリクルを装着 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクア