X線ウェーハバンプ自動検査装置『Six-3000』

ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過！基準値以上のボイドについての良…

『Six-3000』は、ウェーハ上のバンブを自動で検査、判定を行う X線自動検査装置です。 ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの 直径（面積）を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査。 X線源にはマイクロフォーカスX線管を用いてX線受像部にはX線デジタル カメラを採用し、高解像度の画像を抽出。高精度ボイド検査が可能です。 この他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビット

X線観察装置『LX-1610』

世界最小クラスのX線焦点寸法！6軸制御により高機能観察や自動検査が可能…

当製品は、X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持つ解析用X線観察装置です。 160kV、0.2mA、0.25μm開放型マイクロフォーカスX線管や 透過型ターゲットを採用。 6軸制御により高機能観察や自動検査が可能となっております。 【特長】 ■160kV、0.2mA、0.25μm開放型 ■マイクロフォーカスX線管採用 ■世界最小クラスのX線焦点寸法（0.25μm） ■X...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビット