卓上型アライナー『AA2568』

2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライ…

『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。 ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。 スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセター...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

『AA2000シリーズ』

5・6・8インチウェハ対応！2相ステッピングモータを使用の製品をご紹介…

『AA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがポリアセタール樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ。 RS232C通信制御またはI/O制御です。 また、5・6・8インチウェハに対応していま...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社