組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

バキュームシューター『SVCシリーズ』（回収）

＜一体型/分離型ユニット＞ 狭い立坑でも使用可能！全自動運転ですので…

『SVCシリーズ（真空ポンプ＋回収タンク）』の"一体型ユニット"は、優れた 連続吸引機能により、作業性が一段と向上したバキュームシューターです。 いつでもパワーアップ出来るブースターユニット（VPU）の増設でSVC本...

メーカー・取り扱い企業： サンエー工業株式会社

アクアスイーパー『SW-37型』（回収）

ポンプ移動が不要！小型スイーパーに要望されていた機能のグレードアップを…

吸引ホースは100mまで延長可能です。 【特長】 ■最後の一滴まで完全に水を吸い取り、残水ゼロを実現 ■真空発生度は-0.085MPa(-630mmHg)と強力 ■エジェクター専用特殊ポンプの採用と新設計の回収タンクの相乗効果により、 　標準仕様(揚程5m)での排水性能は、毎分300L/minと向上 ■スイーパーを一度セットすれば半径100mをホース1本でカバーできる ※詳...

メーカー・取り扱い企業： サンエー工業株式会社