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液体を微少量×定量供給!モーノポンプ マイクロリットルシリーズ
PR研究・開発用途での微少量×連続定量注入を実現!スラリー対応の微少量用ポ…
『モーノポンプ マイクロリットルシリーズ』は、微少量の連続定量注入を実現する高性能ポンプで、 シビアな吐出精度が求められる塗工機への供給や、研究・開発用途で活躍します。 固形分を含んだ液体でも、液性を変えることなく定量吐出することが可能なほか、 部品点数が少ないシンプル構造で、簡単に分解・洗浄することができます。 また、時間あたりの吐出量が回転速度に比例するので、モーターの制御だけ...
メーカー・取り扱い企業: 兵神装備株式会社 東京支店
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2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献
【用途例】 ・各種ウエハ電子部品のレジスト除去 ・後工程メッキ前の表面改質 ・有機汚染除去 ・樹脂材料の表面改質 【主な仕様】 ◎処理方式: 自動搬送付きバッチ装置 ◎排気ポンプ: ドライポンプ ◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm ◎重量:1000kg ◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44) ◎真空槽サイズ(処理室): φ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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