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コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantimシリーズ
PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準!幅広い流量レンジで液体・ガス…
『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...
メーカー・取り扱い企業: ITWジャパン株式会社
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PR制御システム等における周辺装置のゼロ復旧時間を実現。 クリティカルな…
PRP/HSR(IEC62439-3)に対応していないデバイスも本製品と接続すれば、周辺装置をその冗長ネットワークに参加することが可能となります。 <PRP製品> 並列接続でLAN構成を二重化。 一方の回線が故障してもメッセージロスが生じません。 <HSR製品> LAN回線をリング構成とし、右回り・左回りに同じメッセージを伝達。 一方が故障してもメッセージロスが生じず、遅延も起...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リョウセイ
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…
〇ゲージ圧力レンジ:2.5kPa~21MPa(負圧校正標準) ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。ゲージ圧と大気圧を同時表示できます。外部センサーポートは標準2つ、最大3つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング(標準)。 ○100 MPaまでの圧力レンジ ○0.005% FSまでの各種精度 ○0.01% rdg/年までの安定性 詳...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…
63Hz) ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。最大3つ圧力値を同時表示! ゲージ圧と大気圧を同時表示できる高精度の圧力インジケータです。外部センサーポートは標準2つ、最大3つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング(標準)。複数の圧力モニタが可能なので検査工程のコストダウンが可能です! ○100 MPaまでの圧力レンジ ○0.005% F...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に
溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…
韓国で5nmといった最先端の微細化技術を使った製造プロセスで採用されるという実績をもとに、当社は2019年に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3(酸化イットリウム)やYOF(酸フッ化イットリウム)を再生成膜することでRF window(誘電体窓・天板)交換の費用(純...
メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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