部品『ポーラスチャック』

さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現…

『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉岡精工