NM_【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ

【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合…

Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑