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直線導入機(シャフト型) ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズ
真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。
【主な特長】 ○真空チャンバー内での直線移動に使用 ○廉価版から高精度型まで種々取り扱いあり ○駆動方式:プッシュプル式、スクリュー式、マイクロメータ式、 圧空式、モーター式 ○駆動距離:25 ~ 150mm ○フランジ:ICF34、ICF70 ●詳しくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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