コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

mini CORI-FLOWの適用（ポンプシステム　事例2）

【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してく...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

mini CORI-FLOW 液体分給システム　ポンプシステム

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

【特長】 ○マスフロー調節計の調整可能PID制御信号（電圧出力信号）で 　ポンプ回転数制御 ○高精度、高安定（ほとんど無脈動） ○ドライランダメージ防止警報機能付 ○流量設定 →アナログ信号：0…5(10)...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

mini CORI-FLOWの適用（ポンプシステム　事例1）

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社