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独自に開発したイオンソースを使用し、優れた膜厚均一性を達成します。
原理:DCベースイオンミリング 特徴: シンプルで頑丈な構造 素早い反応時間(切削量に応じて) 0エッチング可能 DCベースソース(グリッドレス、フィラメントレス)でシンプルなメンテナンス 適用例: SAWフィルターの温度補償層(SiO2)の膜厚調整、LTO,AlN膜等の膜厚調整 AlN, LTO等圧電膜の膜厚、周波数調整 その他導電体、非導電体膜の膜...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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